(Grundlagen der Mikrostrukturtechnik)
Umfang und Inhalte der Vorlesung
Die Vorlesung "Mikrostrukturtechnik (MST)" wird im Modul "Mikrotechnologie" (Modul Nr. ETIT-016) des Masterstudienganges Elektrotechnik und Informationstechnik jeweils im SS angeboten. Inhaltsmäßig umfasst sie die wichtigsten Werkstoffe und Basistechnologien der MST: Vakuumtechnik, Dünnschichttechnik, Ätztechniken; Lithographieverfahren; Silizium-Mikromechanik; LIGA -Technik; alternative Mikrostrukturierverfahren; Aufbau und Verbindungstechnik; Mikrosystemtechnik
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